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一、子柒等离子体发生器H2
H2可供去除金属表面氧化物质使用。它经常与氩气混合使用,以提高去除速度。一般人们担心氢气的易燃性,氢气的使用量非常少。人们更大的担心是氢气的存储。我们可以采用氢气发生器从水中产生氢气。从而去掉了潜在的危害性。氢类似于氧，属于高活性气体，能激活和清洁表面。氢和氧的区别主要在于反应后生成的活性基团不同，同时氢还具有还原性，可以用在金属表面的微氧化层除去，而且不容易破坏敏感有机层。因此，广泛应用于微电子、半导体和电路板制造业。由于氢是危险气体，未被电离时与氧结合就会发生自爆，因此等离子表面处理机一般禁止两种气体混合。
等离子体发生器氢等离子呈鲜红色，与氩等离子类似，要相同的放电环境下比氩等离子颜色略深。CF4/SF6：氟化的气体在半导体工业以及PWB(印制线路板)工业中应用非常广泛。在IC封装中的应用只有一种。这类气体用在PADS工艺中,借助这个处理,氧化物质转换成氟氧化物质,允许无流动焊接。
二、子柒等离子体发生器N2
N2离子化所形成的等离子体可以与部分分子结构产生键合反应，因此也是一种活性气体，但相对于氧和氢，其颗粒较重，一般在等离子表面处理机应用中，将这种气体定义为在活性气体氧、氢和惰性气体氩之间的气体。能在清理时达到一定轰击、刻蚀的果皮，同时能防止部分金属表面发生氧化。等离子体和N2的结合，常被用来处理某些特殊材料。在真空等离子态的N2等离子体也是鲜红色的，在同样的的放电环境下，N2等离子体将比氩、氢等离子体更加明亮。
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